| 摘要 |
본 발명은, 기판이 재치되는 재치부와, 상기 재치부 상면에 밀착하여 겹쳐지는 커버를 구비한 캐리어로부터, 상기 재치부와 상기 커버 사이에 보유지지된 상기 기판을 이재하는 이재 방법을 제공한다. 이 이재 방법은, 상기 재치부상의 상기 기판 및 상기 커버를 보유지지 장치에 의해 보유지지하는 보유지지 공정과, 상기 보유지지 장치를 이동시킴으로써 상기 기판 및 상기 커버를 상기 재치부에서 이재처로 이동시키는 이동 공정을 포함한다. 상기 보유지지 공정에서는, 상기 커버와 상기 기판이 평행한 자세로, 상기 커버를 상기 보유지지 장치의 커버 보유지지 유닛에 의해, 상기 기판을 상기 보유지지 장치의 기판 보유지지 유닛에 의해 각각 보유지지한다. |
