| 发明名称 |
SILICON WAFER WORKING MACHINE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH11239980(A) |
申请公布日期 |
1999.09.07 |
| 申请号 |
JP19980055695 |
申请日期 |
1998.02.23 |
| 申请人 |
SUMITOMO HEAVY IND LTD |
发明人 |
NAGATA HIROSHI;ISOBE AKIRA;IWASE AKIO;MAZAKI RYUZO;HARA KAZUTAKA;TOMITA YOSHIYUKI |
| 分类号 |
B24D7/14;H01L21/304;(IPC1-7):B24D7/14 |
主分类号 |
B24D7/14 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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