发明名称 METHOD OF FORMING METALLIZED LAYER OF SEMICONDUCTOR PRESSURE SENSOR BASE
摘要
申请公布号 JPH11241965(A) 申请公布日期 1999.09.07
申请号 JP19980045322 申请日期 1998.02.26
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC WORKS LTD 发明人 SAITO HIROSHI
分类号 G01L7/08;C23C14/04;G01L9/00;G01L9/04;H01L29/84;(IPC1-7):G01L9/04 主分类号 G01L7/08
代理机构 代理人
主权项
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