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发明名称 DEVICE AND METHOD FOR FORMING THIN FILM
摘要
申请公布号 JPH11243042(A) 申请公布日期 1999.09.07
申请号 JP19980042622 申请日期 1998.02.24
申请人 TOKYO ELECTRON LTD;TOSHIBA CORP 发明人 KITANO TAKAHIRO;TAKESHITA KAZUHIRO;OKUMURA KATSUYA;KAWANO KENJI;ITO SHINICHI
分类号 G03F7/16;B05C11/08;B05D1/36;H01L21/027;(IPC1-7):H01L21/027 主分类号 G03F7/16
代理机构 代理人
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