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发明名称 VACUUM DEPOSITION DEVICE USING ELECTRON BEAM
摘要
申请公布号 JPH11241158(A) 申请公布日期 1999.09.07
申请号 JP19980046503 申请日期 1998.02.27
申请人 APPLIED MATERIALS INC 发明人 ONO MASANORI
分类号 C23C14/30;H01J37/317;(IPC1-7):C23C14/30 主分类号 C23C14/30
代理机构 代理人
主权项
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