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发明名称 TESTING REGION FOR AUTOMATIC POSITIONING OF MICROPROBE AND MANUFACTURE THEREOF
摘要
申请公布号 JPH11243121(A) 申请公布日期 1999.09.07
申请号 JP19980300208 申请日期 1998.10.21
申请人 STMICROELECTRONICS SA 发明人 VALLET MICHEL
分类号 G01R1/06;G01R31/28;H01L21/66;H01L21/822;H01L27/04;(IPC1-7):H01L21/66 主分类号 G01R1/06
代理机构 代理人
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