| 发明名称 |
SPUTTERING METHOD CAPABLE OF OPTICALLY MONITORING AND DEVICE THEREFOR |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH11241162(A) |
申请公布日期 |
1999.09.07 |
| 申请号 |
JP19980336022 |
申请日期 |
1998.11.26 |
| 申请人 |
NATL RES COUNCIL OF CANADA |
发明人 |
SULLIVAN BRIAN T;CLARKE GLENN A;OSBORNE NORMAN |
| 分类号 |
G01B11/06;C23C14/34;C23C14/35;C23C14/54;H01J37/32;H01J37/34;(IPC1-7):C23C14/34 |
主分类号 |
G01B11/06 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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