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发明名称 SEMICONDUCTOR MANUFACTURE DEVICE
摘要
申请公布号 JPH11243059(A) 申请公布日期 1999.09.07
申请号 JP19980044813 申请日期 1998.02.26
申请人 KOKUSAI ELECTRIC CO LTD;HITACHI LTD 发明人 IMAI YOSHINORI;WATANABE TOMOJI;MISE NOBUYUKI
分类号 H01L21/205;H01L21/203;(IPC1-7):H01L21/205 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
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