发明名称 |
MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE |
摘要 |
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申请公布号 |
JPH11243090(A) |
申请公布日期 |
1999.09.07 |
申请号 |
JP19980042378 |
申请日期 |
1998.02.24 |
申请人 |
SANYO ELECTRIC CO LTD |
发明人 |
MATSUDA JUNICHI;ADACHI KIMIO |
分类号 |
H01L23/52;H01L21/3205;(IPC1-7):H01L21/320 |
主分类号 |
H01L23/52 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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