发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH11243090(A) 申请公布日期 1999.09.07
申请号 JP19980042378 申请日期 1998.02.24
申请人 SANYO ELECTRIC CO LTD 发明人 MATSUDA JUNICHI;ADACHI KIMIO
分类号 H01L23/52;H01L21/3205;(IPC1-7):H01L21/320 主分类号 H01L23/52
代理机构 代理人
主权项
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