发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR MEMBER AND SEMICONDUCTOR MEMBER
摘要
申请公布号 JPH11243039(A) 申请公布日期 1999.09.07
申请号 JP19980365132 申请日期 1998.12.22
申请人 CANON INC 发明人 SAKAGUCHI KIYOBUMI;YONEHARA TAKAO
分类号 H01L27/12;H01L21/02;(IPC1-7):H01L21/02 主分类号 H01L27/12
代理机构 代理人
主权项
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