| 发明名称 |
DEVICE FOR PRODUCING SPUTTERED FILM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH11241163(A) |
申请公布日期 |
1999.09.07 |
| 申请号 |
JP19980045034 |
申请日期 |
1998.02.26 |
| 申请人 |
SHARP CORP |
发明人 |
FUTAGAWA MASAYASU;MITO KIYOSHI |
| 分类号 |
C23C14/00;C23C14/34;C23C14/56;H01L21/203;(IPC1-7):C23C14/34 |
主分类号 |
C23C14/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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