发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND MANUFACTURE THEREOF
摘要
申请公布号 JPH11243195(A) 申请公布日期 1999.09.07
申请号 JP19980185302 申请日期 1998.06.30
申请人 TOSHIBA CORP 发明人 HIEDA KATSUHIKO
分类号 H01L29/78;(IPC1-7):H01L29/78 主分类号 H01L29/78
代理机构 代理人
主权项
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