DEVICE AND METHOD FOR FORMING THICK FILM,申请号JP19980042623-传众专利搜索

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法人/股东/高管

发明名称	DEVICE AND METHOD FOR FORMING THICK FILM
摘要
申请公布号	JPH11243043(A)	申请公布日期	1999.09.07
申请号	JP19980042623	申请日期	1998.02.24
申请人	TOKYO ELECTRON LTD;TOSHIBA CORP	发明人	KITANO TAKAHIRO;TAKESHITA KAZUHIRO;OKUMURA KATSUYA;ITO SHINICHI
分类号	H01L21/31;H01L21/027;(IPC1-7):H01L21/027	主分类号	H01L21/31
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