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发明名称 ION EXTRACTION DEVICE
摘要
申请公布号 JPH11242936(A) 申请公布日期 1999.09.07
申请号 JP19970130357 申请日期 1997.05.02
申请人 ULVAC CORP;TOSHIBA CORP 发明人 NISHIBASHI TSUTOMU;MIYATANI TAKENAO;KIHARA KENICHI;HANANO YOJIRO;GUNYASU TAKAHISA
分类号 H01J27/02;H01J37/08;(IPC1-7):H01J27/02 主分类号 H01J27/02
代理机构 代理人
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