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发明名称 Kondensator mit einer Barriereschicht aus einem Übergangsmetall-Phosphid, -Arsenid oder -Sulfid
摘要
申请公布号 DE19743268(A1) 申请公布日期 1999.09.02
申请号 DE19971043268 申请日期 1997.09.30
申请人 SIEMENS AG 发明人 HINTERMAIER, FRANK
分类号 H01L27/04;H01L21/02;H01L21/822;H01L21/8242;H01L21/8246;H01L27/105;H01L27/108;H01L27/115;(IPC1-7):H01L27/108 主分类号 H01L27/04
代理机构 代理人
主权项
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