发明名称 DIAZONAPHTHOCHINONSULFONSÄUREESTER VON HEXAHYDROXYBENZOPHENON ALS SENSIBILISATOREN UND POSITIV-PHOTORESISTS AUF DEREN BASIS
摘要
申请公布号 DE69323200(T2) 申请公布日期 1999.09.02
申请号 DE19936023200T 申请日期 1993.07.01
申请人 CLARIANT FINANCE (BVI) LTD. 发明人 JACOVICH, ELAIN C.;CUNNINGHAM, WELLS C.
分类号 C07C309/76;G03F7/022;H01L21/027;(IPC1-7):G03F7/022 主分类号 C07C309/76
代理机构 代理人
主权项
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