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发明名称 Verfahren und Vorrichtungen für die Feststellung von Werkstücken während eines Prozesses
摘要
申请公布号 DE19781881(T1) 申请公布日期 1999.09.02
申请号 DE19971081881T 申请日期 1997.07.16
申请人 SPEEDFAM CORP. 发明人 ALLEN, ROBERT F.;HOLZAPFEL, PAUL;BARTELS, ANTHONY L.;LIN, WARREN
分类号 B24B37/04;B24B49/04;B24B49/12;G05B19/401;G05B19/402;H01L21/304;H01L21/66;(IPC1-7):B24B37/04;G05B19/406 主分类号 B24B37/04
代理机构 代理人
主权项
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