| 发明名称 |
Verfahren zum Herstellen einer Mesastruktur mit einer daraufliegenden Deckschicht insbesondere auf einem Halbleitersubstrat |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE69601602(T2) |
申请公布日期 |
1999.09.02 |
| 申请号 |
DE19966001602T |
申请日期 |
1996.06.18 |
| 申请人 |
ALCATEL |
发明人 |
BODERE, ALAIN;GAUMONT-GOARIN, ELISABETH |
| 分类号 |
C23F4/00;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/308;H01L33/00;H01S3/10;H01S5/00;H01S5/042;H01S5/20;H01S5/227;(IPC1-7):H01S3/19 |
主分类号 |
C23F4/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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