| 主权项 |
1.一种臭氧产生装置(10)(33),其包括:一高电压源(16);一臭氧产生室(11)(34),系经由供给原料气体,而该原料气体包括加入有少量氮气之氧气,同时从该高电压源(16)施加一高电压而产生臭氧气体;及一通道(22.23.24)(35-1.35-2.35-3),用以将所产生的臭氧气体从该臭氧产生室(11.34)输送到一所欲位置,该通道系包括具有钝化膜之不锈钢,该钝化膜包括以乾式程序钝化处理所形成之氧化铬膜,氧化铁膜及氧化铬/氧化铁复合膜中之一种。2.如申请专利范围第1项之臭氧产生装置,其中该不锈钢包括经电解抛光之不锈钢。3.如申请专利范围第2项之臭氧产生装置,其中该钝化处理系藉由将经电解抛光之不锈钢置于高温惰性气体环境中烘烤,并用高浓度臭氧气体使烘烤过的不锈钢氧化者。4.如申请专利范围第2项之臭氧产生装置,其中该钝化处理系藉由将经电解抛光的不锈钢置于高温情性气体环境中烘烤,并用氧化性气体使烘烤过的不锈钢氧化者。图式简单说明:第一图为根据本发明一实施例的臭氧产生装置之简要图;第二图为测量Cr杂质含量的装置之简要图;及第三图为显示测量Cr杂质含量的结果之图表。 |
