| 主权项 |
1.一种多重真空室气体管线之结构,包括:复数个真空室;复数个真空抽气系统,用以降低该些真空室的气压;一供气系统,用以提供该些真空室一清除气体;一气体管线,用以连接该些真空室与该些真空抽气系统及该供气系统;以及复数个阀件,在该气体管线连接该些真空室的一端,用以隔离该些真空室。2.如申请专利范围第1项所述之多重真空室气体管线之结构,其中该些真空抽气系统包括一回转式真空抽气系统。3.如申请专利范围第1项所述之多重真空室气体管线之结构,其中该些真空抽气系统包括一圆顶式真空抽气系统。4.如申请专利范围第1项所述之多重真空室气体管线之结构,其中该供气系统包括一预环高压氮气供气系统。5.如申请专利范围第1项所述之多重真空室气体管线之结构,其中该些阀件包括复数个手动阀。6.一种多重真空室气体管线之结构,可用于HTF机台中,包括:复数个真空室;复数个真空抽气系统,用以降低该些真空室的气压;一供气系统,用以提供该些真空室一清除气体;一气体管线,用以连接该些真空室与该些真空抽气系统及该供气系统;以及复数个阀件,在该气体管线连接该些真空室的一端,用以隔离该些真空室。7.如申请专利范围第6项所述之多重真空室气体管线之结构,其中该些真空抽气系统包括一回转式真空抽气系统。8.如申请专利范围第6项所述之多重真空室气体管线之结构,其中该些真空抽气系统包括一圆顶式真空抽气系统。9.如申请专利范围第6项所述之多重真空室气体管线之结构,其中该供气系统包括一预环高压氮气供气系统。10.如申请专利范围第6项所述之多重真空室气体管线之结构,其中该些阀件包括复数个手动阀。图式简单说明:第一图绘示习知上所采用之多重真空室气体管线的结构示意图。第二图绘示依照本发明之一较佳实施例,一种多重真空室气体管线之结构示意图。 |
