| 主权项 |
1.一种雷射光束准直装置,为供射入雷射光束,并能 将该 射入之雷射光束变换为准直光其特征在具备:将射 入之雷 射光束反射出去,且其反射面可施予变形以改变该 反射面 之曲率的准直镜;以不使前述准直镜之周缘或周缘 附近固 定之方式,支持前述准直镜之支持装置;以及对于 前述准 直镜之一部分,施予加压的加压装置者。2.如申请 专利范围第1项之雷射光速准直装置,其中前述 准直镜之支持装置系对前述准直镜不固定其周缘 或周缘附 近,而系接触前述准直镜之反射面的周缘或周缘附 近,将 前述准直镜由反射面侧予以支持;且前述加压装置 系可对 前述准直镜之中心部,或对于比前述支持装置之支 持部位 更靠中心的部位,由反射面的后侧予以加压的加压 装置者 。3.如申请专利范围第1项之雷射光束准直装置,其 中,前 述准直镜之支持装置系对前述准直镜不固定其周 缘或周缘 附近,而为接触前述准直镜之反射面的周缘或周缘 附近更 为中心部位,将前述准直镜由反射面侧予以支持之 第1支 持装置;且具备对前述准直镜非为固定其周缘或周 缘附近 ,而系接触前述准直镜之反射面的后侧面之周缘或 接触于 比较前述第1支持装置之支持部位更为周缘的部位 ,以将 前述准直镜由反射面的后侧予以支持的第2支持装 置;而 前述加压装置系对于前述第2支持装置可施加压力 于前述 准直镜侧之加压装置者。4.如申请专利范围第1项 之雷射光束准直装置,前述准直 镜之支持装置系为对前述准直镜不为固定其周缘 或周缘附 近,而为接触前述准直镜之反射面的周缘或周缘附 近,将 前述准直镜由反射面侧予以支持之第1支持装置; 且包括 对前述准直镜非为固定其周缘或周缘附近,而为接 触前述 准直镜之反射面之后面侧之比较前述第1支持装置 之支持 部位更为中心部位以将前述准直镜由反射面的后 侧予以支 持的第2支持装置;而前述加压装置系对于前述第2 支持装 置可施加压力于前述准直镜侧之加压装置者。5. 如申请专利范围第2.3或第4项之任一项的雷射光束 准 直装置,其中前述准直镜之反射面在未受到前述加 压装置 加压的状态以构成凹状曲面者。6.如申请专利范 围第3项的雷射光束准直装置,其中前述 准直镜之反射面在未受到前述加压装置加压的状 态以构成 凸状曲面者。7.如申请专利范围第3.4或第6项之任 一项的雷射光束准 直装置,其中前述第1支持装置及前述第2支持装置 对于前 述准直镜为以同心圆状的接触者。8.如申请专利 范围第2.3.4或第6项之任一项的雷射光束 准直装置,其中以具备间接的冷却前述准直镜之周 缘部分 的冷却装置者。9.如申请专利范围第3.4或第6项之 任一项的雷射光束准 直装置,其中以具备检测前述准直镜之变形量的检 测装置 者。10.一种雷射加工机,以具备:用以射出雷射光 束的雷射 振荡器;接受前述雷射振荡器射出的雷射光束,并 将前述 雷射光束变换为准直光的前述申请专利范围第8项 之雷射 光束准直装置;以及依据前述雷射光束准直装置内 之检测 同雷射光束准直装置内的准直镜之变形量的检测 装置所检 测之前述准直镜的变形量之检测结果以控制同雷 射光束准 直装置内的加压装置之准直控制装置者。11.如申 请专利范围第10项的雷射加工机,其中以具备依 据前述检测装置对于准直镜的变形量的检测结果 以停止前 述雷射振荡器之驱动的联锁机构者。12.如申请专 利范围第11项的雷射加工机,其中以具备通 知前述联锁机构使前述雷射振荡器之驱动停止的 通知装置 者。13.一种雷射加工机,以具备:由激励雷射媒质 而输出雷 射光的雷射振荡器;将前述雷射振荡器输出之雷射 光施予 光学的集光之加工头;控制前述加工头所集光之雷 射光的 位置与被加工物之相对位置关系以将前述加工头 移动于所 望之位置的NC装置及驱动机构;而以使用设置于前 述雷射 振荡器于加工头之间的能变化镜片之曲率的准直 机构,对 于加工头所集光之雷射光束可以主动的变化为适 合于加工 之光束镜及集光位置者。图式简单说明:第一图表 示本发 明之雷射光束准直装置之准直镜部的实施形态1的 断面图 。第二图表示本发明之雷射光束准直装置之准直 镜部的实 施形态1的部分扩大断面图。第三图表示本发明之 雷射光 束准直装置之一适用例的雷射加工机的概略方块 图。第四 图表示本发明之雷射光束准直装置之准直镜部之 实施形态 2的断面图。第五图表示本发明之雷射光束准直装 置之准 直镜部之实施形态2的部分扩大断面图。第六图表 示本发 明之雷射光束准直装置之准直镜部之实施形态2的 变形例 之部分扩大断面图。第七图表示本发明之雷射光 束准直装 置之准直镜部之实施形态3的断面图。第八图表示 本发明 之雷射光束准直装置之准直镜部之实施形态3的部 分扩大 断面图。第九图表示本发明之雷射光束准直装置 之准直镜 部之实施形态3的变形例之部分扩大断面图。第十 图表示 本发明之雷射光束准直装置之准直镜部之实施形 态4的断 面图。第十一图表示本发明之雷射加工机之一例 的概略方 块图。第十二图表示本发明之雷射加工机之光路 的概略图 。第十三图表示本发明之雷射加工机之另一例的 概略方块 图。第十四图表示习用之雷射加工机的概略方块 图。第十 五图表示习用之雷射光束准直装置之准直镜部的 断面图。 |
