发明名称 METHOD OF FORMING GATE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 KR100218670(B1) 申请公布日期 1999.09.01
申请号 KR19960061516 申请日期 1996.12.04
申请人 KOREA ELECTRONICS & TELECOMMUNICATIONS RESEARCH INSTITUTE 发明人 MENG, SUNG-JAE;LEE, JAE-JIN;PYUN, KWANG-UH
分类号 H01L21/336;H01L21/027;H01L21/285;H01L21/338;(IPC1-7):H01L21/336 主分类号 H01L21/336
代理机构 代理人
主权项
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