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经营范围
发明名称
GAS VALVE APPARATUS FOR SEMICONDUCTOR
摘要
申请公布号
KR200156691(Y1)
申请公布日期
1999.09.01
申请号
KR19960005194U
申请日期
1996.03.19
申请人
SAMSUNG ELECTRONICS CO, LTD.
发明人
PARK, BAENG-HO;AN, NAK-JOON
分类号
H01L21/20;(IPC1-7):H01L21/20
主分类号
H01L21/20
代理机构
代理人
主权项
地址
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