发明名称 |
APPARATUS AND METHOD FOR PLASMA PROCESSING |
摘要 |
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申请公布号 |
KR100219873(B1) |
申请公布日期 |
1999.09.01 |
申请号 |
KR19970002522 |
申请日期 |
1997.01.29 |
申请人 |
BECTON, DICKINSON AND COMPANY |
发明人 |
MARTIN, DAVID ALAN |
分类号 |
A61B5/15;B05D3/14;B05D7/22;B05D7/24;B32B9/00;C23C14/10;C23C16/04;C23C16/40;C23C16/44;C23C16/515;(IPC1-7):C08J7/04 |
主分类号 |
A61B5/15 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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