| 发明名称 |
PROCESS AND DEVICE FOR COATING SUBSTRATES BY GAS FLOW SPUTTERING |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP0938595(A1) |
申请公布日期 |
1999.09.01 |
| 申请号 |
EP19970942905 |
申请日期 |
1997.09.02 |
| 申请人 |
FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FOERDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V. |
发明人 |
JUNG, THOMAS;MEYER, ROLF |
| 分类号 |
C23C14/34;H01J37/34;(IPC1-7):C23C14/34 |
主分类号 |
C23C14/34 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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