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发明名称
APPARATUS FOR CLEANING WAFER BACKSIDE
摘要
申请公布号
KR200156133(Y1)
申请公布日期
1999.09.01
申请号
KR19950026165U
申请日期
1995.09.26
申请人
HYUNDAI MICRO ELECTRONICS CO.,LTD.
发明人
NAM, KI-WOOK
分类号
H01L21/02;(IPC1-7):H01L21/02
主分类号
H01L21/02
代理机构
代理人
主权项
地址
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