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发明名称 APPARATUS OF SUPPLYING PHOTORESIST OF SEMICONDUCTOR SPINNER
摘要
申请公布号 KR100219804(B1) 申请公布日期 1999.09.01
申请号 KR19960070901 申请日期 1996.12.24
申请人 SAMSUNG ELECTRONICS CO, LTD. 发明人 LEE, KYU-MYOUNG;KIM, JONG-KWON
分类号 H01L21/027;(IPC1-7):H01L21/027 主分类号 H01L21/027
代理机构 代理人
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