发明名称 DRY ETCHING METHOD
摘要
申请公布号 KR100218770(B1) 申请公布日期 1999.09.01
申请号 KR19920005029 申请日期 1992.03.27
申请人 SONY CORPORATION 发明人 KADOMURA, SHINGO;KAMIDE, KOYO
分类号 H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/3213;(IPC1-7):H01L21/306 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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