MAGNETRON SPUTTERING DEVICE,申请号KR19950056322-传众专利搜索

发明名称	MAGNETRON SPUTTERING DEVICE
摘要
申请公布号	KR100216900(B1)	申请公布日期	1999.09.01
申请号	KR19950056322	申请日期	1995.12.26
申请人	MATSUSHITA ELECTRIC INDUSTRIAL CO., LTD.	发明人	YOKOYAMA, MASHAHIDE;HIYATA, HIROSHI;MORI, SEIICHIRO;SUEMIZ, TOSHIYUKI;ONO, AGE
分类号	C23C14/35;(IPC1-7):C23C14/35	主分类号	C23C14/35
代理机构		代理人
主权项
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