| 摘要 |
기판-운송 로봇 장치가 개시된다. 로봇 장치는 상부 아암, 상부 아암에 대해 독립적으로 회전 가능한 포어 아암, 포어 아암에 대해 독립적으로 회전 가능한 리스트 부재, 및 기판을 운반하도록 이루어진 엔드 이펙터를 포함할 수 있다. 몇몇 양태들에서, 독립적인 회전은, 회전을 위해 제 1 구동 풀리 상에 장착된 제 2 구동 풀리를 갖는 로봇 구동 조립체에 의해 제공된다. 다른 양태에서, 베이스-장착식(base-mounted) 및 웨브-장착식(web-mounted) 풀리들을 포함하는 로봇 구동 조립체들이 개시된다. 많은 다른 양태들로서, 로봇 구동 조립체들 및 선택적인 방법들이 제공된다. |
