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经营范围
发明名称
METHOD JOINT AND SEPARATION OF QUARTZ VALVE
摘要
申请公布号
KR100217332(B1)
申请公布日期
1999.09.01
申请号
KR19960046574
申请日期
1996.10.17
申请人
SAMSUNG ELECTRONICS CO, LTD.
发明人
AN, JAE HYEOK;KWAK, HUI SU
分类号
H01L21/22;(IPC1-7):H01L21/22
主分类号
H01L21/22
代理机构
代理人
主权项
地址
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