发明名称 METHOD JOINT AND SEPARATION OF QUARTZ VALVE
摘要
申请公布号 KR100217332(B1) 申请公布日期 1999.09.01
申请号 KR19960046574 申请日期 1996.10.17
申请人 SAMSUNG ELECTRONICS CO, LTD. 发明人 AN, JAE HYEOK;KWAK, HUI SU
分类号 H01L21/22;(IPC1-7):H01L21/22 主分类号 H01L21/22
代理机构 代理人
主权项
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