| 发明名称 |
Electrostatic actuator with different electrode spacing |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
EP0744821(B1) |
申请公布日期 |
1999.09.01 |
| 申请号 |
EP19960303714 |
申请日期 |
1996.05.24 |
| 申请人 |
ASMO CO., LTD. |
发明人 |
SUZUKI, HIDETOSHI;TANAKA, TAKESHI |
| 分类号 |
H02N1/00;(IPC1-7):H02N1/00 |
主分类号 |
H02N1/00 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
