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发明名称 BIAS CHECKING METHOD IN PHOTO ETCHING PROCESS
摘要
申请公布号 KR100216675(B1) 申请公布日期 1999.09.01
申请号 KR19950062115 申请日期 1995.12.28
申请人 HYUNDAI ELECTRONICS IND. CO., LTD 发明人 HWANG, JOON
分类号 H01L21/306;(IPC1-7):H01L21/306 主分类号 H01L21/306
代理机构 代理人
主权项
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