发明名称 制造一种红外发射发光二极管的方法
摘要 本发明涉及制造一种红外发射发光二极管的方法,在这种方法中在一个优先由GaAs构成的半导体衬底(1)上被涂上一个层序列,它是由半导体衬底(1)一个第一个AIGaAs-覆盖层(2),一个包含有GaAs和/或AlGaAs的活性层(3)和一个第二个AlGaAs-覆盖层(4)组成的,其中第一个AlGaAS--覆盖层(2)和活性层(3)是用一种MOVPE-(金属组织气相外延)-法以及第二个AlGaAs-覆盖层(4)是用一种LPE-法制造的。此外在第二个AlGaAs-覆盖层上用一种LPE-(液相外延)-法沉积上一个厚度至少约为10μm的导电的、在红外光谱范围透光的耦合层(5)。
申请公布号 CN1227670A 申请公布日期 1999.09.01
申请号 CN97197120.X 申请日期 1997.08.04
申请人 西门子公司 发明人 R·泽德尔迈尔;E·尼尔施尔;N·斯塔斯
分类号 H01L33/00;H01L21/20 主分类号 H01L33/00
代理机构 中国专利代理(香港)有限公司 代理人 马铁良;王忠忠
主权项 1.制造一种红外发射发光二极管的方法,在一个优先由GaAs构成的半导体衬底(1)上涂上一层当发光二极管运行时发射一束红外射线的活性层,其从半导体衬底(1)出发由一个第一个AlGaAs-覆盖层(2),一个含有GaAs和/或AlGaAs的活性层(3)和一个第二个AlGaAs-覆盖层组成,其特征在于,第一个AlGaAs-覆盖层(2)和活性层(3)是由一种MOYPE-(金属组织气相外延)-法并且第二个AlGaAs-覆盖层(4)是由一种LPE-(液相外延)-法制成的。
地址 联邦德国慕尼黑