发明名称 | 制造一种红外发射发光二极管的方法 | ||
摘要 | 本发明涉及制造一种红外发射发光二极管的方法,在这种方法中在一个优先由GaAs构成的半导体衬底(1)上被涂上一个层序列,它是由半导体衬底(1)一个第一个AIGaAs-覆盖层(2),一个包含有GaAs和/或AlGaAs的活性层(3)和一个第二个AlGaAs-覆盖层(4)组成的,其中第一个AlGaAS--覆盖层(2)和活性层(3)是用一种MOVPE-(金属组织气相外延)-法以及第二个AlGaAs-覆盖层(4)是用一种LPE-法制造的。此外在第二个AlGaAs-覆盖层上用一种LPE-(液相外延)-法沉积上一个厚度至少约为10μm的导电的、在红外光谱范围透光的耦合层(5)。 | ||
申请公布号 | CN1227670A | 申请公布日期 | 1999.09.01 |
申请号 | CN97197120.X | 申请日期 | 1997.08.04 |
申请人 | 西门子公司 | 发明人 | R·泽德尔迈尔;E·尼尔施尔;N·斯塔斯 |
分类号 | H01L33/00;H01L21/20 | 主分类号 | H01L33/00 |
代理机构 | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人 | 马铁良;王忠忠 |
主权项 | 1.制造一种红外发射发光二极管的方法,在一个优先由GaAs构成的半导体衬底(1)上涂上一层当发光二极管运行时发射一束红外射线的活性层,其从半导体衬底(1)出发由一个第一个AlGaAs-覆盖层(2),一个含有GaAs和/或AlGaAs的活性层(3)和一个第二个AlGaAs-覆盖层组成,其特征在于,第一个AlGaAs-覆盖层(2)和活性层(3)是由一种MOYPE-(金属组织气相外延)-法并且第二个AlGaAs-覆盖层(4)是由一种LPE-(液相外延)-法制成的。 | ||
地址 | 联邦德国慕尼黑 |