用于检测具有界面的微结构的检测头

摘要

一种检测头，包括一检测电检测件之紧密相邻排列的检测点的接触装置，具有多个与一检测装置电连接并设于至少一个导引件，最好是两导板的馈入通孔中的接触体元件，其中每一接触体元件都在导引件的与其相配的各馈入通孔中可轴向位移，它们的一端指向连接元件的一个接触位置，另一端指向检测件的一个相应检测点。接触体元件靠止动件阻止其从馈入通孔中滑出，而连接元件则和接触装置成可拆卸连接。

主权项

1、一种检测头，包括一接触一电检测件的，主要是紧密相邻排列的检测点的接触装置，和一有多个与一检测装置的连接元件电连接的接触体元件，它们被装置于至少一个导板，最好是两个导板的馈入通孔中，其中每个接触体元件在各相配的导板馈入通孔中可轴向位移的被导引和其中各接触体元件的一端被指向连接元件的一接触位置上而另一端可指向检测件的各相应检测点，其特征在于，还有阻止接触体元件(25)从馈入通孔(23、47)中跌落出来的止动件，和使连接元件(11)与接触装置(7)成可分离连接的固定件(9)。