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发明名称 Metal-semiconductor ohmic contact forming process
摘要
申请公布号 EP0443297(B1) 申请公布日期 1999.09.01
申请号 EP19900830063 申请日期 1990.02.20
申请人 STMICROELECTRONICS S.R.L. 发明人 SANTANGELO, ANTONELLO;MAGRO, CARMELO;FERLA, GIUSEPPE;LANZA, PAOLO
分类号 H01L21/265;H01L21/28;H01L21/285;H01L21/329;H01L21/768;(IPC1-7):H01L21/285;H01L21/60 主分类号 H01L21/265
代理机构 代理人
主权项
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