发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH11238730(A) 申请公布日期 1999.08.31
申请号 JP19980152496 申请日期 1998.06.02
申请人 FUJI ELECTRIC CO LTD 发明人 TAKAHASHI HIDENORI
分类号 H01L21/316;H01L21/76;(IPC1-7):H01L21/316 主分类号 H01L21/316
代理机构 代理人
主权项
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