| 发明名称 |
BACKING PLATE FOR SPUTTERING TARGET AND SPUTTERING TARGET/BACKING PLATE ASSEMBLY |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH11236665(A) |
申请公布日期 |
1999.08.31 |
| 申请号 |
JP19980054222 |
申请日期 |
1998.02.20 |
| 申请人 |
JAPAN ENERGY CORP |
发明人 |
OKABE GAKUO;FUKUYO HIDEAKI |
| 分类号 |
C23C14/34;(IPC1-7):C23C14/34 |
主分类号 |
C23C14/34 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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