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经营范围
发明名称
FABRICATION OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号
JPH11238731(A)
申请公布日期
1999.08.31
申请号
JP19980037780
申请日期
1998.02.19
申请人
FUJITSU LTD
发明人
ISHIHARA YUKIHIRO
分类号
H01L21/3205;H01L21/027;H01L21/3213;H01L21/768;(IPC1-7):H01L21/320
主分类号
H01L21/3205
代理机构
代理人
主权项
地址
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