发明名称 FABRICATION OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH11238731(A) 申请公布日期 1999.08.31
申请号 JP19980037780 申请日期 1998.02.19
申请人 FUJITSU LTD 发明人 ISHIHARA YUKIHIRO
分类号 H01L21/3205;H01L21/027;H01L21/3213;H01L21/768;(IPC1-7):H01L21/320 主分类号 H01L21/3205
代理机构 代理人
主权项
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