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发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND MANUFACTURE THEREOF
摘要
申请公布号 JPH11238881(A) 申请公布日期 1999.08.31
申请号 JP19980040458 申请日期 1998.02.23
申请人 TOSHIBA CORP 发明人 SHIBATA HIDENORI
分类号 H01L27/146;H01L21/76;H01L21/822;H01L27/04;H01L27/08;H01L29/78;(IPC1-7):H01L29/78 主分类号 H01L27/146
代理机构 代理人
主权项
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