发明名称 |
THIN FILM FORMING DEVICE AND METHOD THEREFOR |
摘要 |
|
申请公布号 |
JPH11236675(A) |
申请公布日期 |
1999.08.31 |
申请号 |
JP19980041492 |
申请日期 |
1998.02.24 |
申请人 |
TOSHIBA CORP |
发明人 |
MOTAI TAKAKO;KIYOTOSHI MASAHIRO;EGUCHI KAZUHIRO |
分类号 |
C23C16/40;C23C16/44;C23C16/46;H01L21/31;H01L21/312;(IPC1-7):C23C16/46 |
主分类号 |
C23C16/40 |
代理机构 |
|
代理人 |
|
主权项 |
|
地址 |
|