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发明名称 MANUFACTURE OF ELEMENT WITH MULTILAYER WIRING
摘要
申请公布号 JPH11238800(A) 申请公布日期 1999.08.31
申请号 JP19980230408 申请日期 1998.08.17
申请人 LG SEMICON CO LTD 发明人 BOKU JUNTOKU
分类号 H01L21/768;H01L21/336;H01L29/78;(IPC1-7):H01L21/768 主分类号 H01L21/768
代理机构 代理人
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