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发明名称 FORMATION OF WIRING STRUCTURE
摘要
申请公布号 JPH11238737(A) 申请公布日期 1999.08.31
申请号 JP19980040346 申请日期 1998.02.23
申请人 NIPPON TELEGR & TELEPH CORP <NTT> 发明人 INOUE TAKASHI;HIRANO MAKOTO
分类号 H01L21/3213;(IPC1-7):H01L21/321 主分类号 H01L21/3213
代理机构 代理人
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