发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND ITS MANUFACTURE
摘要
申请公布号 JPH11238735(A) 申请公布日期 1999.08.31
申请号 JP19980056244 申请日期 1998.02.20
申请人 NIPPON STEEL CORP 发明人 KINASHI KOJI
分类号 H01L21/3205;H01L21/316;H01L21/768;H01L23/522;(IPC1-7):H01L21/320 主分类号 H01L21/3205
代理机构 代理人
主权项
地址