| 发明名称 |
LIGHT WAVE MODULATION DEVICE MODULATED LIGHT GENERATION DEVICE, LIGHT WAVE INTERFERENCE MEASURING DEVICE AND ALIGNER |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH11237206(A) |
申请公布日期 |
1999.08.31 |
| 申请号 |
JP19980057471 |
申请日期 |
1998.02.23 |
| 申请人 |
NIKON CORP |
发明人 |
SHINJIYOU HIROCHIKA;TSUKIHARA KOICHI |
| 分类号 |
G01B9/02;(IPC1-7):G01B9/02 |
主分类号 |
G01B9/02 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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