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发明名称 CHARGED PARTICLE BEAM DEVICE
摘要
申请公布号 JPH11238483(A) 申请公布日期 1999.08.31
申请号 JP19980352268 申请日期 1998.12.11
申请人 HITACHI LTD 发明人 OBARA ATSUSHI;TAKAMI TAKASHI;OTAKA TADASHI
分类号 H01J37/141;H01J37/28;(IPC1-7):H01J37/141 主分类号 H01J37/141
代理机构 代理人
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