| 发明名称 |
DEVICE AND METHOD FOR INSPECTING REPETITIVE PATTERN USING HIGH-SPEED IMAGE INPUTTING TECHNIQUE |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH11237347(A) |
申请公布日期 |
1999.08.31 |
| 申请号 |
JP19980037086 |
申请日期 |
1998.02.19 |
| 申请人 |
MITSUI MINING & SMELTING CO LTD |
发明人 |
YAMABE KOJI;KOURA SADAHIKO;FUJIMOTO KAZUMI;KATSUTE TOSHIO |
| 分类号 |
G01N21/89;G01N21/88;G01N21/892;G01N21/93;(IPC1-7):G01N21/89 |
主分类号 |
G01N21/89 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
