| 发明名称 |
PRODUCTION OF FLUORINE-CONTAINING POLYBENZOXAZOLE-POLYIMIDE AND INTERLAYER INSULATION FILM FOR MULTILAYER INTERCONNECTION OF SEMICONDUCTOR |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH11236450(A) |
申请公布日期 |
1999.08.31 |
| 申请号 |
JP19980040291 |
申请日期 |
1998.02.23 |
| 申请人 |
SUMITOMO BAKELITE CO LTD |
发明人 |
WATANABE TAKESHI;SAITO HIDENORI |
| 分类号 |
C08G73/10;C08G73/22;H01L21/312;H01L21/768;H01L23/522;(IPC1-7):C08G73/22 |
主分类号 |
C08G73/10 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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