发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT DEVICE
摘要
申请公布号 JPH11238874(A) 申请公布日期 1999.08.31
申请号 JP19980036854 申请日期 1998.02.19
申请人 ROHM CO LTD 发明人 KAWABATA KO
分类号 H01L29/78;H01L21/336;(IPC1-7):H01L29/78 主分类号 H01L29/78
代理机构 代理人
主权项
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