| 发明名称 |
COATING FLUID FOR FORMING SILICEOUS COATING FILM AND SILICEOUS COATING FILM OBTAINED THEREFROM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH11236533(A) |
申请公布日期 |
1999.08.31 |
| 申请号 |
JP19980041897 |
申请日期 |
1998.02.24 |
| 申请人 |
HITACHI CHEM CO LTD |
发明人 |
NOBE SHIGERU;ENOMOTO KAZUHIRO;YAMAMOTO YASUHIRO;NARITA TAKENORI;MORISHIMA HIROYUKI |
| 分类号 |
B05D7/24;C09D183/08;C09D183/16;H01L21/316;(IPC1-7):C09D183/16 |
主分类号 |
B05D7/24 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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